半導體凈化車間級別
作者： 廣東卓為環境科技有限公司官網發表時間：2024-09-25 09:08:01瀏覽量：421【小中大】
半導體凈化車間級別主要根據空氣中允許的顆粒物數量和大小來劃分，以確保半導體制造過程中的高潔凈度環境。以下是半導體凈化車間級別的詳細劃分和歸納：
半導體凈化車間級別
ISO潔凈度等級：
ISO 14644是國際上常用...
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半導體凈化車間級別主要根據空氣中允許的顆粒物數量和大小來劃分，以確保半導體制造過程中的高潔凈度環境。以下是半導體凈化車間級別的詳細劃分和歸納：
半導體凈化車間級別
ISO潔凈度等級：
ISO 14644是國際上常用的潔凈室標準，它定義了從ISO 1（最高潔凈度）到ISO 9（最低潔凈度）的多個等級。但在半導體制造中，通常使用更高的潔凈度等級。
常見半導體凈化車間等級：
ISO 5級（Class 100）：潔凈室內每立方米空氣中直徑大于0.1μm的顆粒數不超過100個。這是半導體制造中常用的高潔凈度等級，用于關鍵的生產步驟。
ISO 6級（Class 1000）：潔凈室內每立方米空氣中直徑大于0.1μm的顆粒數不超過1000個。用于對潔凈度要求稍低的生產步驟。
ISO 7級（Class 10000）：潔凈室內每立方米空氣中直徑大于0.5μm的顆粒數不超過10000個。在一些半導體制造過程中，這個等級也被采用。
其他等級劃分：
100級、1000級、10000級和100000級：這是另一種常見的潔凈度等級劃分方式，其中100級對應ISO 5級，1000級對應ISO 6級，以此類推。
超凈間（ULTRAZONE Rooms）：
超凈間也稱為無菌室或生物安全柜，其空間要求比千級潔凈室更高。在超凈間內工作的人員必須穿特殊的隔離服并帶面罩和手套才能進入室內操作。
潔凈度等級對半導體制造的影響
潔凈度等級越高，車間內空氣中的顆粒物和微生物含量就越低，從而降低了半導體材料受到污染的風險，提高了產品的質量和可靠性。
不同等級的潔凈室適用于不同的半導體制造過程，以滿足不同的工藝要求和質量標準。
總結
半導體凈化車間的級別劃分主要基于ISO 14644標準，常見的等級包括ISO 5級（Class 100）、ISO 6級（Class 1000）和ISO 7級（Class 10000）。這些等級通過控制車間內空氣中的顆粒物數量來確保半導體制造過程的高潔凈度環境。同時，超凈間作為更高要求的潔凈環境，也在特定工藝步驟中得到應用。
